KL系列 半导体检测显微镜单元

KL系列是一款结构紧凑、集成目镜的显微镜单元，专为高精度检测而设计。它广泛应用于金属表面、半导体晶圆、液晶基板、树脂材料等样品的观察与测量，同时也是各类专业设备（如激光加工系统）中可靠的OEM模块。

核心特性与优势

卓越的观察能力：支持多种观察方式，包括明视场（BF）、暗视场（DF）、偏振光以及微分干涉对比（DIC），以满足不同样品的对比度成像需求。

专业的照明系统：标配基于柯勒照明原理的表面照明光学系统，并配备孔径光阑，确保样品获得均匀、无眩光的理想照明效果。

高操作便利性：内置的物镜转塔与超长工作距离物镜相结合，为操作提供了充足空间，尤其适用于需要工具介入（如探针）的复杂检测与微加工场景。

灵活的系统集成：该系列镜体常被用作YAG激光（涵盖近红外至紫外波段）设备的核心观察模块，适用于半导体晶圆的检测与修复。（注：作为OEM模块，其集成至激光系统后的性能与安全性由最终设备制造商保证。）

红外观察选配：可配置用于红外光学系统，适用于晶体硅的内部缺陷观察、红外光谱分析等应用。（此功能需另行配置红外光源与红外摄像机）。

主要应用领域

半导体行业：半导体电路的切割、修整、校正、标记；绝缘膜的清洁与加工；故障分析中的探针测试与光学剖面观察。

显示面板行业：液晶彩色滤光器的修复与校正。

材料分析：结合红外光学系统，进行材料的内部结构观察与光谱特性分析。